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技术文章
CKD的工艺气体减压阀拥有专业密封性能、滞后性和重复性。
产品特点
⊙使用示例
⊙高耐腐蚀・高品质材料
⊙优化设计
⊙高密封性
⊙高微小流量控制性
⊙减少迟滞
⊙丰富的产品阵容
蚀刻、成膜装置中工艺气体的高精度控制
◆压力控制·减压
◆压力稳定化
● 采用高耐腐蚀材料 ● 实施电解研磨、超精密加工、超精密清洗
.
02 优化设计
●尽量减少滑动部
● 膜片结构的优化
● 优化材质，实现平稳动作
03 高密封性
有助于工艺稳定化。
● 阀座部的优化设计和超精密加工
● 最大限度抑制阀闭动作时的2次侧泄漏（流出）
04 高微小流量控制性
实现稳定且平稳的动作
● 阀座部形状的优化设计
● 微小流量下也可稳定控制
05 减少迟滞
安全满足目标压力。
● 采用高品质材料
● 超精密加工
06 丰富的产品阵容
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